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            各種高純氣體

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                   高純氣體通常是指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。高純氣體對于不同類別的氣體,純度指標不同。高純氣體應用領域極寬,在半導體工業,高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣;高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體,和無機高純氣體。


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